spellman電源維修DF60N3X4181高壓發生器維修

時間：2023-07-14

作者：北京天浦正達電子科技有限公司

詞條
詞條說明
AP/PF **SMA電源維修等離子變頻電源
維修包括：PECVD、MOCVD、IONIMP,**SMA的設備電源,包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER等。電源維修的時候，需要檢測一下各功率器件是否存在擊穿短路，例如電源整流橋堆、開關管、高頻大功率整流管、浪涌電流的大功率電阻是否燒斷等，然后需要再檢測各輸出電壓端口電阻是否異常，如上述器件有損壞的情況我們則需要進行更換器件。等離子清洗機的原理是等離子體和材料表面
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