高純氬氣的用途簡單介紹

時間：2020-03-01作者：江門市江海區金珠江氣體有限公司瀏覽：989

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  詞條說明

• 操作高純液氬的注意事項

  高純氬氣的國家執行標準是GB/T10624—1995，質量要求達到99.999%以上。? ? ? ?氬氣是采用空氣分離提氬，即將液化的空氣進行精餾,得到粗氬.抽出粗氬,經進一步提純可得到高純氬，高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬也可作為色譜載氣.氬被

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