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在半導體行業中,極小的表面缺陷和顆粒是一個主要問題,這會降低產量并耗費生產的時間和成本。因此,檢測半導體晶圓表面的缺陷和污染至關重要,這是在半導體計量行業許多客戶面臨的挑戰。晶圓表面檢測的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷,通常在深紫外(DUV)波長下檢測100nm以下的缺陷。在這種方法中,Holoor指出當線沿徑向掃描時,晶圓旋轉,產生晶圓的大面積采樣,從而
平頂光束是什么?光束成型器如何產生平頂光束平頂光束的特點是具有均勻的聚焦強度分布,具有明確的形狀和大小,并且邊緣鋒利。在這篇文章中,你將學習如何用你的激光束獲得這樣的照明曲線。平頂光束的介紹當提到包括激光束在內的光學系統時,平頂光束描述了激光束在沿光路穿過某種介質后的能量分布。平頂能量可以直接產生在工作面上,也可以產生在系統內的其他部件上。一個典型的激光束,在離開激光源時,會有一個高斯分布,最大能
Alluxa推出H-alpha系列天文學深截止濾波片656nm
Alluxa,Inc.宣布開發了兩款突破性的氫Alpha(H-alpha)發射線的窄帶濾波片,可用于天文學應用。雖然這些新型濾光片目前是專門為監測天文學中的H-α光譜而定制的,但它們也可用于其他譜線的辨別,應用包括光譜學、等離子體監測、聚變研究等。新型的5腔H-alpha濾光片在方形度方面為窄帶濾波片設立了新標準。它的50%帶寬僅為0.35nm,1%帶寬<0.6nm,峰值透射率約為80%,并
ALLUXA 推出具有擴展光譜性能的突破性PVD濾光片加工工藝,這項加工技術將用于紫外到紅外的濾光片以高性能光學鍍膜以及濾光片的廠商ALLUXA,近日推出了擴展光譜光學鍍膜性能的突破性能力,他們所制造開發的下一代SIRRUS?等離子體物理氣相沉積平臺現在可以提供紫外線到紅外的全光譜覆蓋,這項加工工藝將使ALLUXA濾光片擁有更加陡峭的曲線邊緣,更高的透射率和更甚的阻擋等級,同時保持精確的波長控制和
公司名: 深圳維爾克斯光電有限公司
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