等離子清洗機(jī)用于半導(dǎo)體晶圓清洗工藝

時(shí)間：2022-04-01作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：270

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 等離子清洗機(jī)用于晶圓處理

  等離子清洗機(jī)是適用于晶圓級(jí)和3D封裝應(yīng)用的表面處理設(shè)備。等離子清洗機(jī)的應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、介電質(zhì)刻蝕、晶圓凸點(diǎn)、有機(jī)污染去除、晶圓減壓等。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，plasma清洗機(jī)，等離子去膠機(jī)，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處

• 等離子清洗機(jī)對(duì)汽車密封條的處理

  等離子清洗機(jī)對(duì)汽車密封條的處理，提升涂層及植絨粘接性，為了使密封條非常好的起到防風(fēng)雨，防噪音的作用，需要在其表面噴涂功能性涂層或者植絨。在噴涂或者植絨之前，先采用等離子體清洗機(jī)的預(yù)處理，去除表面肉眼不可見(jiàn)的有機(jī)物、油污、雜質(zhì)、粉塵等，增加密封條表面附著力，可以提升產(chǎn)品良率，增強(qiáng)涂層粘合力及均勻性，長(zhǎng)期使用植絨不掉毛，密封性能好。等離子清洗機(jī)的表面處理技術(shù)能有效提高橡膠密封條的表面能，增加親水性和粘

• 等離子清洗機(jī)，光刻膠剝離

  等離子清洗機(jī)用于清洗晶元（Wafer），去除表面光刻膠。具有高度的均勻性，穩(wěn)定的刻蝕速率。等離子體清洗機(jī)在處理晶圓表面光刻膠時(shí)，等離子表面清洗能夠去除表面光刻膠和其余有機(jī)物，也可以通過(guò)等離子活化和粗化作用，對(duì)晶圓表面進(jìn)行處理，能有效提高其表面浸潤(rùn)性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學(xué)方法，等離子體清洗機(jī)干式處理的可控性強(qiáng)，一致性好，并且對(duì)基體沒(méi)有損害。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner

• 等離子清洗機(jī)優(yōu)化玻璃鍍膜、粘合工藝

  等離子清洗機(jī)能有效的改善表面潤(rùn)濕性，等離子處理機(jī)不但可以進(jìn)行表面清洗，還能提高表面活性，等離子體與物體表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)能夠產(chǎn)生活性化學(xué)集團(tuán)，應(yīng)用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，plasma清洗機(jī)，等離