詞條
詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
普旭真空泵逆止閥的性能及特點(diǎn):1、采用特殊橡膠塑料制成,具有耐高溫、抗擊打的特點(diǎn),在真空泵油的高溫的環(huán)境中不易變形;2、O型圈采用氟膠圈,在具有很好的密封作用下,還具有耐高溫、不粘結(jié)、壽命長的特點(diǎn);3、彈簧材質(zhì)經(jīng)測試后,平均起彈次數(shù)達(dá)50億次以上;4、嚴(yán)格按照原廠尺寸生產(chǎn)而成,可順利安裝入真空泵進(jìn)氣口,且完全符合進(jìn)氣口的尺寸。此點(diǎn)用戶可放心使用!5、起彈效果佳,在產(chǎn)品使用壽命內(nèi),均能正常恢復(fù)常態(tài)。
真空泵維護(hù)與保養(yǎng):1.泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔,防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。?2.泵的運(yùn)轉(zhuǎn)過程中,油箱內(nèi)的存油量不得**油標(biāo)中心。?3.不同種類和牌號的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統(tǒng)損壞等特殊事故,進(jìn)氣口突然暴露大氣時(shí),應(yīng)盡快停泵,并切斷與系統(tǒng)連接的管道,防止噴油、污染場地。?5.泵由于存放或使用不當(dāng),水份或其它揮發(fā)性物質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)而影響極限真空時(shí)
普旭真空泵沒有吸力原因一:真空泵漏氣,密封件老化起不到密封效果。普諾克真空解決方法:泵拆解后清洗干凈,組裝換密封套件。原因二:真空泵油乳化或變黑,油沒有潤滑性。普諾克真空解決方法:1.打開加油口、再打開放油閥、泵內(nèi)的大部分泵油可以排出;然后關(guān)閉加油口放油閥。2.泵的吸氣口向大氣開放,空轉(zhuǎn)5秒,缸體內(nèi)的剩余泵油*被排出。3.打開加油口,再打開放油閥,然后排出泵油。4.關(guān)閉放油閥,把*的新油按規(guī)定
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