用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺(tái)。

時(shí)間：2022-10-21作者：上海銳放自控技術(shù)有限公司瀏覽：339

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 由Nanomotion設(shè)計(jì)和制造的機(jī)載聚焦機(jī)構(gòu)，用于獲取目標(biāo)

  由Nanomotion設(shè)計(jì)和制造的機(jī)載聚焦機(jī)構(gòu)，用于獲取目標(biāo)。受到飛行沖擊和振動(dòng)的期間，能夠保證亞微米級(jí)定位和定位穩(wěn)定性。Nanomotion的團(tuán)隊(duì)具有豐富的工程資源，擁有超過(guò)100多年的精確運(yùn)動(dòng)控制經(jīng)驗(yàn)。可靠性的真正衡量標(biāo)準(zhǔn)是在Nanomotion設(shè)計(jì)和制造的系統(tǒng)上評(píng)估我公司電機(jī)的性能。

• 控制器的基本功能

  1、控制各條指令執(zhí)行的順序2、生成實(shí)現(xiàn)指令要求的各種操作控制命令，控制有關(guān)部件完成指令規(guī)定的功能3、處理運(yùn)行程序過(guò)程中的異常情況，如運(yùn)算結(jié)果溢出、數(shù)據(jù)校驗(yàn)出錯(cuò)以及輸入輸出中斷請(qǐng)求等隨機(jī)操作4、向全機(jī)提供統(tǒng)一的時(shí)序控制信號(hào)，協(xié)調(diào)各部件操作。[1]數(shù)據(jù)緩沖由于I/O設(shè)備的速率較低而CPU和內(nèi)存的速率卻很高，故在控制器中必須設(shè)置緩沖器。在輸出時(shí)，用此緩沖器暫存由主機(jī)高速傳來(lái)的數(shù)據(jù)，然后才以I/O設(shè)備所具

• 最適合壓電效應(yīng)的應(yīng)用

  最適合壓電效應(yīng)的應(yīng)用由于壓電材料的固有特性，有許多應(yīng)用從它們的使用中獲益：高壓電源該領(lǐng)域應(yīng)用的一個(gè)例子是電點(diǎn)煙器，按下按鈕可使彈簧錘撞擊壓電晶體，從而產(chǎn)生足夠高的電壓，使電流流過(guò)小火花隙，加熱并點(diǎn)燃?xì)怏w。大多數(shù)類型的燃?xì)馊紵骱腿細(xì)庠疃加袃?nèi)置的壓電式噴射系統(tǒng)。傳感器壓電傳感器的工作原理是，將物理尺寸轉(zhuǎn)化為力，作用在傳感元件的兩個(gè)相對(duì)面上。檢測(cè)聲音形式的壓力變化是最常見(jiàn)的傳感器應(yīng)用，這見(jiàn)于壓電麥克風(fēng)

• 用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺(tái)。

  nanomotion用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺(tái)。行程超過(guò)500mm，編碼器分辨率為0.1nm，定位精度為±2nm。10小時(shí)以上定位穩(wěn)定性達(dá)到1nm。