等離子清洗機用于IC封裝工藝

時間：2022-04-02

作者：煙臺金鷹科技有限公司

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詞條
詞條說明
等離子清洗機對晶圓的預處理
等離子清洗機用于晶圓級封裝的預處理，去除表面礦物質(zhì)，減少氧化層，增加銅表面粗糙度，plasma等離子清洗機能通過等離子產(chǎn)生的自由基將高分子聚合物去除干凈，包括在很深且狹窄尖銳的溝槽里的聚合物。而且能將很深洞中或其他很深地方將光刻膠的殘留物去除掉.等離子清洗機的表面處理能夠去除表面光刻膠和其余有機物，也可以通過等離子活化和粗化作用，對晶圓表面進行處理，能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學方法
等離子清洗機增加材料的粘結性
等離子清洗機增加材料之間的粘結性許多聚合物薄膜和纖維等高分子材料由于具有較低的表面能，很難被溶劑潤濕，表現(xiàn)出較低的粘接性。而高分子材料經(jīng)plasma等離子清洗機處理后，易在其表面引入級性基團或活性點，提高表面活性和表面能，使非級性表面轉變?yōu)榧壭员砻妫鰪娏苏辰Y材料與粘結劑之間的范德華力作用，進而達到改善材料粘結性的目的。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等
等離子清洗機對光學鏡頭的清潔
等離子處理機不但可以進行表面清洗，提高表面活性，等離子體清洗機與物體表面進行化學反應能夠產(chǎn)生活性化學集團，應用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面。等離子處理機不但可以進行表面清洗，而且重要的是可以提高表面活性，等離子體與物體表面進行化學反應能夠產(chǎn)生活性化學集團，應用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面。光學行業(yè)等離子
大氣常壓與真空等離子體清洗機設備區(qū)別
大氣常壓等離子清洗機又稱常壓射流等離子處理機，即在普通大氣的環(huán)境下進行等離子清洗。大氣等離子清洗機由等離子發(fā)生器、氣體輸送管及等離子處理工作站等部分組成。等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻能量在噴頭鋼管中被激活和被控制的輝光放電中產(chǎn)生了低溫等離子體，借助壓縮空氣將等離子體噴向工件表面，當?shù)入x子體與被處理物體表面相遇時，產(chǎn)生了化學作用和物理變化，表面得到了清潔，去除了碳化氫類污物，如油脂、輔助添加劑等，根據(jù)材