XD型單級旋片式真空泵維護

時間：2020-12-24

作者：上海福豫機械設備有限公司

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詞條說明
【工業真空泵】羅茨泵工作原理
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
【上海真空泵的使用規范】旋片式真空泵的使用說明
旋片式真空泵使用說明：1、與泵聯接的管道不宜過長,且不宜小于泵的進氣口徑。2、被抽氣體溫度不得**40℃,否則應把氣體冷至常溫。3、含有較多塵埃的氣體則應加以過濾,有腐蝕性及油起化學反應之氣體則應加氣體吸收及綜合裝置,如含水蒸氣過多,則應加去濕裝置,以防止泵油弄臟,影響其真空性能及泵的使用壽命。4、泵云裝過程中油溫不能**70℃,在正常工作時應聽到“嗒、嗒、嗒”之排氣聲,如有異聲或溫度驟升時應停止
【真空泵廠家】旋片式真空泵的使用方法
旋片真空泵的使用方法1、使用前，應仔細閱讀產品使用說明書，開箱后應檢查裝運質量，收好備品備件和技術文件，拆除排氣品防護件。按要求安裝，接線，試轉向。水泠泵接水。2.為防止因返油與反轉而噴油，應先開啟泵口，按規定轉向把泵內存油用手盤到油箱中，同時查看油位，應在油標中心以上，但不要滿油標，多了要放3、判斷轉向的輔助方法,把護套倒放在家口上，如開系后被吸住，是正向，被攻落，是發向，聲音正常是正向，聲音異
單級真空泵真空系統的基本要求是都有哪些
真空系統的基本要求是都有哪些？1、在被抽器件或工作室內獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體，這時的工作真空度將顯著地低于極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性，它們從不同側面對器件質量產生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統中，電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣